CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī) CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源 設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础? 更新時(shí)間：2024-03-19 09:53:02 詳細(xì)信息 產(chǎn)品特點(diǎn)◆ ?遠(yuǎn)程離子清洗源◆??清洗快速、高效◆ ?低轟擊損傷技術(shù)參數(shù)?產(chǎn)品型號(hào)CIF-SEM法蘭接口KF40（CF40）工作氣壓0.3-3Pa等離子電源13.56MHz 射頻電源，射頻功率 5-150W 可調(diào)遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器氣體控制標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響氣源選擇根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇真空保證真空計(jì)和電磁閥安全互鎖操控方式7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面電源 / 功率AC220V，50/60Hz，300W可選配件可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， ??氫氣純度﹥ 99.999％，輸出流量 0-500SCCM質(zhì)量保證二年質(zhì)保，終身維護(hù)產(chǎn)品尺寸L320xW385xH465mm包裝尺寸L440xW535xH725mm整機(jī)重量25 上一篇： 下一篇：CIF透射電鏡樣品桿清洗機(jī)
