CIF經(jīng)濟(jì)型實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī) CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設(shè)備,合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。 產(chǎn)品性能穩(wěn)定,操作簡單方便,易維護(hù)。 更新時(shí)間:2024-03-18 15:04:41 詳細(xì)信息 應(yīng)用領(lǐng)域:等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線 路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,主要用 于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。 產(chǎn)品特點(diǎn)◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。◆ PLC 控制整個(gè)清洗過程,手動、自動兩種工作模式。◆ 用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì) (CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制精準(zhǔn)。◆ 氣體返填吹掃,HEPA 高效過濾,防止二次污染。◆ 316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。◆ 采用 60 度傾角操作面板設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方 便,界面友好。◆ 上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間小。◆ 內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì),有效保護(hù)流量計(jì)和艙門不易損壞。◆ 處理快速高效均勻,無污染,工藝重復(fù)性好。◆ 樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。◆ 安全保護(hù),艙門打開,自動關(guān)閉電源。技術(shù)參數(shù): 型號CPC-ECPC-Eplus射頻電源40KHz13.56MHz射頻功率0-300W0-150W匹配器自動匹配器激發(fā)方式電容式或電感耦合(ICP)氣體控制單浮子流量計(jì)艙體尺寸D200xΦ155mm艙體材質(zhì)不銹鋼或石英玻璃艙體容積3.8L有效處理尺寸L200xW155mm時(shí)間設(shè)定9999 秒真空泵抽速 4m3/h氣體穩(wěn)定時(shí)間1 分鐘真空度100pa 以內(nèi)電 源AC220V 50/60Hz 766/316W產(chǎn)品尺寸L440xW410xH455mm包裝尺寸L560xW560xH685mm整機(jī)重量32kg 上一篇:CIF中試生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)CPC15/35/80/120/150 下一篇:VGB-P系列手套箱專用等離子清洗機(jī)