半自動晶圓烘焙熱板系統(tǒng) UNIXX HTe20型熱板是一款桌面型半自動烘焙系統(tǒng)，用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。? 更新時間：2022-11-24 16:53:30 詳細(xì)信息 產(chǎn)品簡介UNIXX HTe20型熱板是一款桌面型半自動烘焙系統(tǒng)，用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。 產(chǎn)品特色 ÷ 溫度高達(dá) 300°C÷ 電子驅(qū)動升降pin÷ 支撐pin材料為不銹鋼，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)÷ 程序控制支撐pin的升降（不同停止的速度和步數(shù)）÷ 熱板通過真空固定晶圓÷ 熱板蓋手動控制÷ 集成排煙裝置÷ 通過設(shè)置receip自動進(jìn)行加熱處理 主要技術(shù)數(shù)據(jù)÷ 襯底尺寸: 最大可達(dá) ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)÷ 溫度: 最大可達(dá) 300°C, 步進(jìn)1°C÷ 溫度精度: < ±1°C@100°C ÷ 支撐pin: ?50 mm (?2”) ,最大可達(dá) ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)÷ 熱板材質(zhì): 硬質(zhì)陽極氧化鋁÷ 加熱蓋材質(zhì): 不銹鋼 可選項÷ 支撐pin材料÷ 邊緣支撐pin÷ N2吹掃÷ HMDS 熱板系統(tǒng)（六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆）÷ 600℃熱板÷ 真空泵 上一篇：立式半自動晶圓烤膠系統(tǒng) 下一篇：手動晶圓烘焙熱板系統(tǒng)
