CIF實驗室型等離子清洗機CPC-F系列 CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設備,合理的結構設計,優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。 產品性能穩(wěn)定,操作簡單方便,易維護。 更新時間:2024-04-09 09:11:47 詳細信息 應用領域:等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、線 路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學等領域,主要用 于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。 產品特點◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數狀態(tài),20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。◆ PLC 控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。◆ 用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計或質量流量計 (CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制準確。◆ 氣體返填吹掃,HEPA 高效過濾,防止二次污染。◆ 316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統采用316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。◆ 采用 60 度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方 便,界面友好。◆ 上控制下艙體結構設計,結構緊湊,占地空間小。◆ 內凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門不易損壞。◆ 處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。◆ 樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。◆ 安全保護,艙門打開,自動關閉電源。技術參數型號CPC-FCPC-FplusCPC-FMCPC-FMplus射頻電源40KHz13.56MHz40KHz13.56MHz射頻功率0-600W0-150W0-600W0-150W匹配器自動匹配器自動匹配器激發(fā)方式電容式或電感耦合(ICP)電容式或電感耦合(ICP)氣體控制雙浮子流量計單路 MFC(可選兩路)艙體尺寸D200xΦ155mmD200xΦ155mm艙體材質不銹鋼或石英玻璃不銹鋼或石英玻璃艙體容積3.8L-5L3.8L-5L有效處理尺寸L200xW155mmL200xW155mm時間設定9999 秒9999 秒真空泵抽速 4m3/h抽速 4m3/h氣體穩(wěn)定時間1 分鐘1 分鐘真空度100pa 以內100pa 以內電 源AC220V 50/60Hz 766/316WAC220V 50/60Hz 752/302W產品尺寸L440xW410xH455mmL440xW410xH455mm包裝尺寸L560xW560xH685mmL560xW560xH685mm整機重量32kg32kg 上一篇: 下一篇:CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列