CIF實驗室型等離子清洗機(jī)CPC-G系列 CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設(shè)備, 顛覆傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學(xué), 科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。 更新時間:2024-03-26 16:10:22 詳細(xì)信息 產(chǎn)品特點:◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。◆ ?PLC 工控機(jī)控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。◆ ?石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。◆ ?采用質(zhì)量流量計,實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。◆ ?60 度傾角操作界面設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。◆ ?頂置真空艙,上開蓋設(shè)計,下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。◆ ?采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作更方便。◆ ?有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。◆ ?安全保護(hù),艙門打開,自動關(guān)閉電源。技術(shù)參數(shù):?型號CPC-GCPC-Gplus射頻電源40KHz13.56MHz射頻功率0-600W0-150W匹配器自動匹配激發(fā)方式電容式氣體控制單路 MFC(可選兩路)艙體尺寸H100xΦ269mm艙體容積5.6L艙體材質(zhì)石英玻璃有效處理尺寸Φ269mm?圓盤時間設(shè)定9999 秒真空泵抽速 4m3/h氣體穩(wěn)定時間1 分鐘真空度100pa?以內(nèi)電???源AC220V 50/60Hz ?752/302W產(chǎn)品尺寸L425xW480xH445mm包裝尺寸L550xW630xH700mm整機(jī)重量30kg 上一篇:CIF實驗室型等離子清洗機(jī)CPC-F系列 下一篇:CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列